相同：兩者都是電子槍，即發射電子的裝置。它們都有陰極和陽極。陰極都是點源發射體。陰極和陽極之間有一個直流高壓電場。高電壓一般是可調的，用來控制電子的發射速度（能量），電子槍發射的電流強度很小，微安級和納安級。為了防止氣體電離產生的大電流擊穿高壓電源，需要高真空環境。電子槍陰極屬于消耗品系列
區別和利弊：
1. 不同點源直徑及其優缺點：
鎢絲電子槍的陰極使用0.1mm直徑的鎢絲制成V形（分叉鎢絲陰極）。的V形的尖端被用作一個點發射源，和曲率半徑約為0.1毫米。場發射電子槍的陰極采用直徑為0.1mm的鎢絲，它被蝕刻成針狀的尖陰極。一般的曲率半徑在100nm到1μm之間。由于制造工藝的不同，成本也不同。叉鎢絲陰極便宜，而場發射陰極非常昂貴。
2. 不同的發射機制及其優缺點
鎢絲屬于熱發射。當直流電壓施加到燈絲電極，鎢絲產生熱量。工作溫度一般在2600K至2800K之間。鎢絲具有較高的電子發射效率。溫度越高，電流密度越大。在理想情況下，電子槍越亮。由于材料的蒸發速率隨溫度的升高而急劇增加，因此鎢絲的壽命相對較短，一般在50—200小時之間。這與燈絲的設定溫度有關。由于電子發射溫度高，發射的電子能量色散大，一般為2ev，電子槍造成的色差會比較大
3. 不同的電子槍控制方法和電子源直徑及其優缺點
鎢絲采用三極自給偏壓控制，并具有偏壓負反饋電路，發射電流穩定性高。。由于陰極發射點源面積大，電子源的尺寸也相對較大，50~100μm，發射功率可達幾十~150μA，而電子槍的亮度較低，因此當電子束點聚焦于幾納米時，總探測針電流很小，信噪比過低，這是限制圖像分辨率的根本因素。最佳鎢絲掃描電鏡的最佳分辨率為3.0nm。
場發射電子槍沒有偏置負反饋電路。外接電源的穩定性是決定性因素。發射電流的穩定性相對較低。。由于針尖陰極發射電源的面積很小，約為100nm，并且沒有明顯的電子源，因此采用虛電子源作為電子光學系統設計的初始對象。電子虛源的直徑一般為2~20nm，電子槍的亮度比鎢絲高。千萬次。當束斑尺寸減小到1 nm以下時，探測電流仍然很強，足以獲得足夠的成像信號，因此分辨率很高。目前最好的場發射掃描電子顯微鏡已經達到亞納米級的分辨率。
4. 不同系統真空度及其優缺點
鎢絲掃描電子顯微鏡采用普通高真空，兩級真空泵系統可獲得0.001pa的真空度，成本低。
場發射掃描電子顯微鏡使用超高真空，需要三級真空泵獲得0.0000001Pa或以上的真空度才能穩定運行。。原因是電子槍尖陰極在較低的真空度下不能承受電離離子的轟擊，否則電子槍尖很容易被壓扁而失效。這個時候，性能還不如一根鎢絲。其次，電子槍陰極尖端在較低的真空中被吸附。氣體分子會急劇增加陰極材料的表面勢壘，造成電子槍發射不穩定，降低亮度。因此，必須使用超高真空，通常為10的-8次方。超高真空系統的成本明顯高于鎢絲。超高真空的清潔度優于一般鎢絲的高真空度，因此系統可以長期，即在燈絲的壽命期內進行清洗和免維護。鎢絲掃描電子顯微鏡的維護周期相對較短
5. 鎢絲和場發射有明顯的等級差異，這一點在價格上也有明顯的體現。鎢絲掃描電子顯微鏡成本幾十萬，場發射成本幾十萬，都以美元計。目前，國內只能生產最低檔次的鎢絲掃描電子顯微鏡。
