測量范圍[dm] 9/15/7 E0 = 0.3 μm
蔡司技術的入門級水平
測量范圍[dm] 可達16/42/10 E0自0.5 μm起
測量范圍[dm] 5/5/5 E0 = 0.7 μm
測量范圍[dm] 可達20/42/15 E0自1.2 μm起
測量范圍[dm] 可達12/24/10 E0自1.5 μm起